什么是線性精密平臺

    線性精密平臺是直線電機、直線模組、DD馬達以及大理石平臺組合，為線性平臺之復合組合，其組合精度高，性能更優等特性。由直線電機與U型結構之線性滑軌構成，運用復合化、輕量化與模組化之趨勢，結合高精度、高負載與高剛性等設計理念所自行開發?？晒澥“惭b使用空間與維修成本；已廣泛應用在精密機械、半導體設備與其他需要精密定位的機構上。
 
 
 
線性精密定位平臺也叫直線驅動定位平臺，主要特點有直線電機直接驅動，不存在中間傳遞環節。優點主要有：結構簡單，剛度高，推重比大，易獲得較高的加速度，無回差間隙，精度高；缺點主要表現在：抗干擾能力差，電機存在端部效應，散熱困難。為了減小對精度的影響，在定子和動子之間安裝了氣浮或磁浮軸承，來增強直線電機的抗干擾能力，同時靜壓氣浮軸承的氣流可帶走產生的部分熱量。對推力波動效應具有一定的隔離和衰減作用，減小非線性和不確定因素對系統的影響，實現系統的近零摩擦。

 

比如XY線性精密平臺
 
 線性精密平臺通過氣浮軸承支承在大理石基座上，通過X-Y 向短行程平面電機及驅動臂，與長行程直線電機相連，實現線性精密平臺的長行程定位，短行程測量及運動矯正，聯合實現系統的納米定位的目標。  其核心測量裝置——激光干涉儀和光鏡及接收器分別安裝在氣浮定位平臺下方的支架上，反射鏡安裝在氣浮定位平臺上。當線性平臺運動時，通過由激光干涉儀組成的測量系統，測量氣浮定位工作臺的直線運動誤差。實驗工作臺是由一臺長行程直線電機來驅動氣浮工作臺的長行程運動，X-Y 短行程直線電機完成氣浮定位工作臺的繞Z 軸和沿X、Y 方向的平移；沿Z 向的平動定位由其下方的柔性支承調節系統完成。